| 发明名称 |
CIRCUIT PATTERN GENERATION JIG OF WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09232291(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960058305 |
申请日期 |
1996.02.20 |
| 申请人 |
TOKYO KASOODE KENKYUSHO:KK |
发明人 |
KAMIMURA YOICHI;MINAMI TETSUYA;FUJIMOTO NARIYA;MURAKAMI TETSUO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
