发明名称 MANUFACTURE AND APPARATUS FOR HIGH-PURITY NITROGEN GAS
摘要
申请公布号 JPH09229551(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960031700 申请日期 1996.02.20
申请人 TEISAN KK 发明人 NAGAMURA TAKASHI;YAMAMOTO TAKAO
分类号 F25J3/04;(IPC1-7):F25J3/04 主分类号 F25J3/04
代理机构 代理人
主权项
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