发明名称 TEST HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09229999(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960040017 申请日期 1996.02.27
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 FUKAZAWA YOSHITO
分类号 G01R31/26;B07C5/344;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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