发明名称 |
PLANE DISTANCE SCALE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09229601(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
申请号 |
JP19960059998 |
申请日期 |
1996.02.21 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
TAKENAKA HISATAKA;KURIHARA KENJI;NAGASE MASAO;IKUTSU HIDEO |
分类号 |
G01B3/00;B81B1/00;B81C1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B3/00 |
主分类号 |
G01B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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