发明名称 PLANE DISTANCE SCALE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09229601(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960059998 申请日期 1996.02.21
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAKENAKA HISATAKA;KURIHARA KENJI;NAGASE MASAO;IKUTSU HIDEO
分类号 G01B3/00;B81B1/00;B81C1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B3/00 主分类号 G01B3/00
代理机构 代理人
主权项
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