| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauelementes mit mindestens einer Fasertaper-Aufnahme (5b) und einem angekoppelten Fasertaper (9). Dazu wird zunächst ein Mikrostrukturkörper hergestellt, indem ein Substrat mit Resist beschichtet wird, wobei die Höhe des Resist über einen Bereich des Substrats im wesentlichen kontinuierlich abnimmt. Im Anschluß wird der Resist durch eine Maske beispielsweise mit Synchrotronstrahlung belichtet und im Anschluß entwickelt. Durch Galvanoformung und Abformverfahren wie z.B. Mikro-Spritzguß werden Replikate (8) des Mikrostrukturkörpers in z.B. Kunststoff erstellt. Die Erfindung betrifft als weiteres ein optisches Bauelement, welches mindestens eine Fasertaper-Aufnahme (5b) und einen angekoppelten Fasertaper (9) aufweist. Dabei ist die Fasertaper-Aufnahme als Graben mit im wesentlichen rechteckigem Querschnitt ausgebildet. Grabenhöhe und Breite nehmen mindestens über einen Bereich im wesentlichen kontinuierlich ab.</p> |
