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发明名称 Verfahren und Gerät zur Herstellung von Dünnfilm-Halbleitervorrichtungen mittels nicht-planarer Strahlbelichtungslithographie
摘要
申请公布号 DE69310707(T2) 申请公布日期 1997.09.04
申请号 DE19936010707T 申请日期 1993.02.16
申请人 SARCOS, INC., SALT LAKE CITY, UTAH, US 发明人 JACOBSEN, STEPHEN C., SALT LAKE CITY, UTAH 84102, US
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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