| 摘要 |
<p>Un capteur de pression (5) possède des éléments résistifs (20) pour mesurer les contraintes s'exerçant sur la surface d'un diaphragme (10). Chaque élément résistif (20) possède des premier et second plots métalliques (14) ayant au moins deux lignes (24, 25) d'un matériau piézorésistif formé entre les plots (14), chacune d'elles ayant un rapport d'aspect longueur/largeur élevé. La jauge de contrainte (140) peut avoir une construction monobloc en forme de coupe ayant un diaphragme (142) formant le fond ou base de la coupe. Le diamètre interne (144) de la coupe est inférieur à 10 mm, et des éléments piézorésistifs (145) en film épais sont formés sur la surface interne du diaphragme. Les éléments piézorésistifs peuvent être formés à l'aide d'un crayon (110) pour tracer un motif d'encre résistive sur la surface du substrat, à l'aide d'un stencil (118) ou par pulvérisation électrostatique d'une encre résistive sur la surface du substrat.</p> |
