| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR DISCHARGING LIQUID |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09232227(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960061803 |
申请日期 |
1996.02.22 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SUGIMOTO KENJI;SASADA SHIGERU |
| 分类号 |
B05D1/40;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
