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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09232306(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960056751 申请日期 1996.02.20
申请人 SONY CORP 发明人 FUJITA SHIGERU
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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