发明名称 STYLUS TYPE FILM THICKNESS MEASURING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09229663(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960033827 申请日期 1996.02.21
申请人 CANON INC 发明人 MIYAKE AKIRA
分类号 G01B5/06;G01B11/00;G01B21/08;(IPC1-7):G01B21/08 主分类号 G01B5/06
代理机构 代理人
主权项
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