| 发明名称 |
Vorrichtung zum chemisch-mechanischen Polieren einer Oberfläche eines Objektes, insbesondere eines Halbleiterwafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29709755(U1) |
申请公布日期 |
1997.09.04 |
| 申请号 |
DE1997209755U |
申请日期 |
1997.05.07 |
| 申请人 |
PETER WOLTERS WERKZEUGMASCHINEN GMBH, 24768 RENDSBURG, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B24B37/005;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/00;B24B53/00;(IPC1-7):B24B29/02;B24B7/16;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/005 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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