发明名称 Ultraschall-Reinigungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE4205576(C2) 申请公布日期 1997.09.04
申请号 DE19924205576 申请日期 1992.02.24
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHMORI, MASASHI, ITAMI, HYOGO, JP;KOTOH, SATORU, AMAGASAKI, HYOGO, JP;NAKAJIMA, SHINJI, AMAGASAKI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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