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发明名称 Justieranordnung und Verfahren zum Justieren einer Greifvorrichtung eines Roboterarms zum Handhaben einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE3822598(C2) 申请公布日期 1997.09.04
申请号 DE19883822598 申请日期 1988.07.04
申请人 SIEMENS AG, BERLIN UND MUENCHEN, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 RASKE, HANS, 81371 MUENCHEN, DE
分类号 B25J9/16;B25J19/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;B25J19/00 主分类号 B25J9/16
代理机构 代理人
主权项
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