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发明名称 Exposure system
摘要
申请公布号 EP0341983(B1) 申请公布日期 1997.09.03
申请号 EP19890304684 申请日期 1989.05.09
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAWAKAMI, EIGO;YOSHII, MINORU;UZAWA, SHUNICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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