| 发明名称 |
DORAIFUIRUMUGATANOSUISEISHORIKANONAHOTOREJISUTOSOSEIBUTSU |
| 摘要 |
A new polymer family is shown for use in high speed photoresists. A dry film photoresist includes a polymer binder prepared from t-butyl methacrylate/methylmethacrylate/acrylic acid/ethyl acrylate and a suitable initiator. |
| 申请公布号 |
JP2648804(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.03 |
| 申请号 |
JP19910081152 |
申请日期 |
1991.03.22 |
| 申请人 |
INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP |
发明人 |
ROBAATO DEIBITSUDO AREN;GUREGORII MAIKURU UOORURAFU;ROOGAN ROIDO SHINPUSON;UIRIAMU DAINAN HINZUBAAGU ZA SAADO |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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