发明名称 FORMATION OF ELECTRODE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52126167(A) 申请公布日期 1977.10.22
申请号 JP19760042977 申请日期 1976.04.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 YASUDA YASUMICHI;YATSUNO KOUMEI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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