Mikroelektronische Schaltungsstruktur und Verfahren zu deren Herstellung,申请号DE19945003517-传众专利搜索

发明名称	Mikroelektronische Schaltungsstruktur und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号	DE59403517(D1)	申请公布日期	1997.09.04
申请号	DE19945003517	申请日期	1994.05.04
申请人	SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE	发明人	HOFMANN, KARL R., DR, D-30974 WENNIGSEN, DE;SCHULZ, MAXIMILIAN, PROF.DR., D-8525 WEIHER, DE
分类号	H01L21/3115;H01L21/335;H01L29/15;(IPC1-7):H01L29/15;H01L21/311	主分类号	H01L21/3115
代理机构		代理人
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