发明名称 KINZOKUUSANKAMAKUUHANDOTAI*MOS*SHUSEKIKAIRONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2650035(B2) 申请公布日期 1997.09.03
申请号 JP19870277538 申请日期 1987.11.04
申请人 INTERU CORP 发明人 BIIINNJON UU;MAAKU EI HORAA;ENDAA HOOKEREKU;SANDORA ESU RII
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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