发明名称 MASUKUHOJISOCHI
摘要
申请公布号 JP2649556(B2) 申请公布日期 1997.09.03
申请号 JP19880218525 申请日期 1988.09.02
申请人 KYANON KK 发明人 FUJIOKA HIDEHIKO;CHIBA JUJI;KUNO MITSUTOSHI;KARYA TAKUO;SHIMODA ISAMU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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