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发明名称 SUPINCHATSUKUOYOBISHORIEKITOFUHOHO
摘要
申请公布号 JP2649219(B2) 申请公布日期 1997.09.03
申请号 JP19950107357 申请日期 1995.05.01
申请人 HOOYA KK 发明人 SAKAMOTO NAGAHIRO
分类号 B05D1/40;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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