| 发明名称 |
COOLING AND COLLECTING DEVICE AND SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09225230(A) |
申请公布日期 |
1997.09.02 |
| 申请号 |
JP19960056826 |
申请日期 |
1996.02.20 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HOSAKA EIJI;KAGAYA TORU;YANAGAWA HIDEHIRO |
| 分类号 |
B01D45/08;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):B01D45/08 |
主分类号 |
B01D45/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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