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发明名称 EVACUATING DEVICE FOR VACUUM FILM FORMATION OR ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH09228052(A) 申请公布日期 1997.09.02
申请号 JP19960030968 申请日期 1996.02.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OHINATA TAKESHI
分类号 B01J3/02;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/306 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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