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发明名称 FILTER ARRANGING PART OF CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH09225325(A) 申请公布日期 1997.09.02
申请号 JP19960036421 申请日期 1996.02.23
申请人 HIROSHIMA NIPPON DENKI KK;TAKUMA CO LTD 发明人 TOYODA KAORU;KOBAYASHI TOSHIO;MORII TSUNEYUKI;FUJIWARA GORO;HATSUTORI SHINJI;IRIE NAOKI
分类号 F24F7/06;B01D39/00;B01D46/00;B01L1/04;(IPC1-7):B01L1/04 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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