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发明名称 Fremgangsmåde til forbedring af kvaliteten af ved kemisk pådampning fremstillede kobberfilm.
摘要
申请公布号 DK0630988(T3) 申请公布日期 1997.09.01
申请号 DK19940107352T 申请日期 1994.05.11
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 ROBERTS, DAVID ALLEN;NORMAN, JOHN ANTHONY THOMAS;HOCHBERG, ARTHUR KENNETH
分类号 C23C16/14;C23C16/18;H01L21/28;(IPC1-7):C23C16/18;C07F1/08;H01L21/285 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
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