发明名称 ACTIONNEUR PIEZOELECTRIQUES DE TRES HAUTE PRECISION
摘要
申请公布号 FR2735923(B1) 申请公布日期 1997.08.29
申请号 FR19950007579 申请日期 1995.06.23
申请人 CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT 发明人 NIEDERMANN PHILIPPE;CHOFFAT HUBERT
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H02N2/04;H02N2/06;H01L41/08 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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