| 申请人 |
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH, 01257 DRESDEN, DE;FZM GESELLSCHAFT FUER PRODUKTENTWICKLUNG UND EXISTENZGRUENDUNGSFOERDERUNG GMBH MITTELSACHSEN, 09557 FLOEHA, DE |
发明人 |
BOEHME, SIEGFRIED, 09127 CHEMNITZ, DE;SCHREITER, STEFFEN, DR., 09669 FRANKENBERG, DE;FALZ, MICHAEL, 01169 DRESDEN, DE;POLL, HANS-ULLRICH, PROF. DR., 09127 CHEMNITZ, DE;SOLGER, NORBERT, 01259 DRESDEN, DE;WILBERG, RUEDIGER, 01259 DRESDEN, DE |
