发明名称 Mikromechanischer Beschleunigungssensor
摘要
申请公布号 DE29622968(U1) 申请公布日期 1997.08.28
申请号 DE19962022968U 申请日期 1996.05.20
申请人 INSTITUT FUER MIKRO- UND INFORMATIONSTECHNIK HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, 78052 VILLINGEN-SCHWENNINGEN, DE 发明人
分类号 G01P13/00;G01P15/08;G01P15/135;(IPC1-7):G01P15/02 主分类号 G01P13/00
代理机构 代理人
主权项
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