Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeicheranordnung mit Kondensator
摘要
申请公布号
DE69126925(D1)
申请公布日期
1997.08.28
申请号
DE1991626925
申请日期
1991.05.29
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
INOUE, SHUNSUKE, OHTA-KU, TOKYO, JP;SAKASHITA, YUKIHIKO, OHTA-KU, TOKYO, JP;NAKAMURA, YOSHIO, OHTA-KU, TOKYO, JP;KIKUCHI, SHIN, OHTA-KU, TOKYO, JP;YUZURIHARA, HIROSHI, OHTA-KU, TOKYO, JP