发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeicheranordnung mit Kondensator
摘要
申请公布号 DE69126925(D1) 申请公布日期 1997.08.28
申请号 DE1991626925 申请日期 1991.05.29
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 INOUE, SHUNSUKE, OHTA-KU, TOKYO, JP;SAKASHITA, YUKIHIKO, OHTA-KU, TOKYO, JP;NAKAMURA, YOSHIO, OHTA-KU, TOKYO, JP;KIKUCHI, SHIN, OHTA-KU, TOKYO, JP;YUZURIHARA, HIROSHI, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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