发明名称 WASSERDAMPFVERSORGUNGSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69126959(D1) 申请公布日期 1997.08.28
申请号 DE19916026959 申请日期 1991.10.05
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP;SHINKO SEIKI CO. LTD., KOBE, HYOGO, JP 发明人 SHINAGAWA, KEISUKE, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;FUJIMURA, SHUZO, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;MATOBA, YUUJI, SHINKO SEIKI CO., LTD., KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;NAKANO, YOSHIMASA, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;TAKEUCHI, TATSUYA, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;MIYANAGA, TAKESHI, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP
分类号 C23C16/448;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/42;H01L21/02 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
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