Herstellungsverfahren einer niedergeschlagenen Schicht mittels CVD, unter Verwendung von flüssigem Rohstoff und dazu geeignete Vorrichtung,申请号DE19926018152T-传众专利搜索

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发明名称	Herstellungsverfahren einer niedergeschlagenen Schicht mittels CVD, unter Verwendung von flüssigem Rohstoff und dazu geeignete Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE69218152(T2)	申请公布日期	1997.08.28
申请号	DE19926018152T	申请日期	1992.12.28
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	ASABA, TETSUO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;MAKINO, KENJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号	C23C16/18;C23C16/40;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/20	主分类号	C23C16/18
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