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发明名称 Mechanical gripper for handling small objects in micro-systems technology
摘要
申请公布号 DE19715083(A1) 申请公布日期 1997.08.28
申请号 DE19971015083 申请日期 1997.04.11
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET ILMENAU ABTEILUNG FORSCHUNGSFOERDERUNG UND TECHNOLOGIETRANSFER, 98693 ILMENAU, DE 发明人 ZOEPPIG, VEIT, 98693 ILMENAU, DE;ULRICH, JENS, 98704 LANGEWIESEN, DE;HARNISCH, ALF, 98701 NEUSTADT, DE
分类号 B25J7/00;B25J15/02;H01L21/687;(IPC1-7):B25J15/06;B65G47/90 主分类号 B25J7/00
代理机构 代理人
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