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发明名称 TOEIROKOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2647602(B2) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 JP19920204989 申请日期 1992.07.31
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 KAMON KAZUYA;MYAMOTO TERUO;NAI YASUTO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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