| 摘要 |
Un conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para fabricarlo, incluyendo el conjunto una matriz activa que tiene un substrato, unconjunto de M x N terminales de conexión y un conjunto de M x N transistores, y un conjunto deM x N estructuras accionadoras, donde cada una de lasestructuras accionadoras presenta una estructura bimorfa, e incluye una porción accionadora y una porción reflectora de luz, incluyendo la porción accionadorauna porción frontal de un primer electrodo de película delgada, un miembro electromovible superior, un electrodo intermedio, un miembro electromovibleinferior, y una porción frontal de un segundo electrodo de película delgada, estando la porción frontal eléctricamente conectada acada uno de losterminales de conexión y a cada uno de los transistores, y la porción restante del primer electrodo de película delgada está dispuesta sobre la parte superiorde la porción restante del segundo electrodo de película delgada,para formarla la porción reflectora de luz, permitiendo que los electrodos de películadelgada primero y segundo funcionen como un electrodo de senal, estando el electrodo intermedio dispuesto los miembros electromovibles superior e inferiory funcionando como un electrodo de bias común. |
