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发明名称 Method of protecting electrostatic chuck
摘要
申请公布号 EP0742588(A3) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 EP19960303279 申请日期 1996.05.10
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 SALFELDER, JOSEPH;GRIMARD, DENNIS;CAMERON, JOHN F.;DESHPANDEY, CHANDRA;RYAN, ROBERT;CHAFIN, MICHAEL G.
分类号 H02N13/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
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