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发明名称 HANDOTAIUEHAASENJOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2647352(B2) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 JP19940286772 申请日期 1994.11.21
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 RONARUDO JENE KORETSUTOSUKAI;DONARUDO RICHAADO UIGURIOTSUTEI;ROBAATO YAKOBU UONGATSUTOFUERUDO
分类号 B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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