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发明名称
KIBANNOSENJOKANSOSOCHI
摘要
申请公布号
JP2648286(B2)
申请公布日期
1997.08.27
申请号
JP19940183579
申请日期
1994.08.04
申请人
IINUMA GEEJI SEISAKUSHO KK;HAMAMATSU HOTONIKUSU KK
发明人
KONO MAKOTO;HIRANO MASAYUKI
分类号
G02F1/1333;B08B7/00;F26B25/00;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):H01L21/304;G02F1/133
主分类号
G02F1/1333
代理机构
代理人
主权项
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