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发明名称
JUKIHAKUMAKUNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号
JP2647121(B2)
申请公布日期
1997.08.27
申请号
JP19880069645
申请日期
1988.03.25
申请人
TOSHIBA KK
发明人
NAKAYAMA TOSHIO;MOTOMA NOBUHIRO;MIURA AKIRA
分类号
H01L21/368;B05D1/20;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/40;(IPC1-7):B05D1/20
主分类号
H01L21/368
代理机构
代理人
主权项
地址
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