| 发明名称 |
Process for preparing a polycrystalline semiconductor thin film transistor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0456199(B1) |
申请公布日期 |
1997.08.27 |
| 申请号 |
EP19910107426 |
申请日期 |
1991.05.07 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS COMPANY LTD. |
发明人 |
MASUMO, KUNIO;YUKI, MASANORI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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