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发明名称 Cleaning Method
摘要
申请公布号 EP0611332(B1) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 EP19920924205 申请日期 1992.11.02
申请人 GRAY, DONALD J.;GEBHARD, PETER T. E. 发明人 GRAY, DONALD J.;GEBHARD, PETER T. E.
分类号 B01D5/00;B08B3/04;B08B3/08;B08B7/00;C23G3/00;C23G5/02;C23G5/04;D06F43/00;D06F43/08;(IPC1-7):B08B3/04;B08B5/04;B08B3/10 主分类号 B01D5/00
代理机构 代理人
主权项
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