| 发明名称 |
Improvements in diffusion pumps |
| 摘要 |
<p>A diffusion pump 1 is provided with first and second inlets 20,22 to provide the possibility of differential pumping. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0791752(A2) |
申请公布日期 |
1997.08.27 |
| 申请号 |
EP19970300948 |
申请日期 |
1997.02.13 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP PLC |
发明人 |
HUNTLEY, GRAEME |
| 分类号 |
F04B37/00;F04F9/00;(IPC1-7):F04F9/00 |
主分类号 |
F04B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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