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发明名称 APPARATUS FOR MONITORING IMPURITIES IN A GAS STREAM
摘要
申请公布号 EP0591847(A3) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 EP19930115812 申请日期 1993.09.30
申请人 MILLIPORE CORPORATION 发明人 DILEO, ANTHONY J.;SNOW, JAMES T.;COTE, DANIEL A.
分类号 G01N5/02;G01N27/00;G01N29/00;G01N29/02;G01N29/036;(IPC1-7):G01N27/00;G01N33/00 主分类号 G01N5/02
代理机构 代理人
主权项
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