发明名称 METHOD FOR SUPPORTING ANALYSIS OF CAUSES OF LIQUID CRYSTAL SUBSTRATE CRACK
摘要
申请公布号 JPH09222400(A) 申请公布日期 1997.08.26
申请号 JP19960030402 申请日期 1996.02.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD 发明人 TAKAKUSU AKIRA;KONAGAYA YOSHINOBU;HORIMIZU OSAMU;KUNIYOSHI KOICHI
分类号 G01N21/89;G01N21/896;G02F1/13;G02F1/1333;G06F17/30;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
地址