发明名称 |
PYROLYTIC BORON NITRIDE CRUCIBLE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09221384(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
申请号 |
JP19960052324 |
申请日期 |
1996.02.15 |
申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
KIMURA NOBORU;KUSHIHASHI TAKUMA;YAMAGUCHI KAZUHIRO |
分类号 |
B01L3/04;C01B21/064;C30B15/10;C30B27/02;C30B35/00;(IPC1-7):C30B15/10 |
主分类号 |
B01L3/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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