| 发明名称 |
WASHING AGENT COMPONENT OF SLICED WAFER OR PLATE-LIKE OBJECT AND WASHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09223679(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960053813 |
申请日期 |
1996.02.16 |
| 申请人 |
KAO CORP |
发明人 |
KONDO JUNJI;SHIRASAWA TAKESHI |
| 分类号 |
C11D1/72;C11D3/18;C11D3/20;C11D7/24;C11D7/26;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C11D1/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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