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发明名称 METHOD OF NEUTRON-TRANSMUTATION DOPING OF SILICON
摘要
申请公布号 RU2089011(C1) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 RU19940038614 申请日期 1994.10.14
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT YADERNOJ FIZIKI PRI TOMSKOM POLITEKHNICHESKOM UNIVERSITETE 发明人 VARLACHEV VALERIJ A;SOLODOVNIKOV EVGENIJ S;FOTIN ANDREJ V;TSIBULNIKOV YURIJ A
分类号 H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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