| 发明名称 |
DEVICE FOR PRODUCING CRYSTAL BY CZOCHRALSKI METHOD, PRODUCTION OF CRYSTAL AND CRYSTAL PRODUCED THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09221380(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960050898 |
申请日期 |
1996.02.14 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
SAKURADA MASAHIRO;MIYAHARA YUICHI;OTA TOMOHIKO |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/14;C30B33/02;(IPC1-7):C30B15/00 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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