| 发明名称 |
BEAM SOURCE AND MICRO-WORKING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09223594(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960054056 |
申请日期 |
1996.02.16 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
HATAKEYAMA MASAKI;ICHIKI KATSUNORI;TAIMA YASUSHI |
| 分类号 |
G21K5/04;H05G2/00;H05H1/26;H05H3/02;(IPC1-7):H05H1/26 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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