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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09223684(A)
申请公布日期
1997.08.26
申请号
JP19960054061
申请日期
1996.02.15
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
OTSUKI HAYASHI;TOZAWA SHIGEKI
分类号
H01L21/302;G03F7/42;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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