| 发明名称 |
METHOD FOR DECIDING GROW RATE OF SINGLE CRYSTAL THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09223666(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960027172 |
申请日期 |
1996.02.14 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SATO MASAKATSU;NISHI SEIJI |
| 分类号 |
C30B29/40;C30B29/68;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
