| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09223669(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960352963 |
申请日期 |
1996.12.13 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;TERAMOTO SATOSHI;KOYAMA JUN;MIYANAGA SHOJI;OTANI HISASHI |
| 分类号 |
C01B21/068;C01B33/02;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C01B21/068 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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